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HCMS+CA系列

膜層致密性好

Good film density
真空應用解決方案提供商
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Magnetron sputtering vacuum coating equipment 磁控濺射鍍膜設備

      中頻磁控濺射技術已漸成為磁控濺射鍍膜的主流技術,它優于直流磁控濺射鍍膜的特點是克服了陽極消失現象;減弱或消除靶的異常弧光放電。因此,提高了濺射過程的工藝穩定性,同時,提高了介質膜的沉積速率數倍。

      在中頻磁控濺射技術的基礎上,新加入的hipims高功率直流脈沖技術,相比原有的中頻磁控濺射,等離子體的繞射性更好、膜層致密度更高、沉積速率大幅提升、工藝可控精細度提高、可鍍涂層種類和顏色增加,在產品上表現為耐腐蝕性增強、膜層硬度增大彈性模量降低、涂層表面摩擦系數更低、涂層顏色光亮度提高。

開發了平面靶,圓柱靶,孿生靶,對靶等多種形式的中頻濺射靶結構和布局。該類設備廣泛應用于表殼、表帶、手機殼、高爾夫球具、五金、餐具等鍍TiN、TiC、TICN、TiAIN、CrN等各種多元合金化合物裝飾鍍層。

      該設備提供各種金屬顏色的涂層,如鋼、鎳、金、青銅以及無煙煤和黑色。涂層的顏色是由其成分決定的,由鋯、鈦、氮、碳、氧等金屬組成。我們的工藝工程團隊可以根據您的要求對顏色進行微調,使您有可能在您的市場中獨樹一幟。


優勢:

?高生產率
?沉積各種金屬和合金以獲得有色和/或半透明的表面
?由于濺射不同材料的靶材而在生產階段具有靈活性

Product Advantage.

產品特點
HCMS+CA系列磁控濺射鍍膜設備包括以下關鍵功能:
  • 高效

    沉積速度快、基材溫升低、膜層損傷小

  • 結構緊湊

    占地面積小,易于集成到工廠

  • 精準

    精確控制鍍層的厚度

  • 優質

    薄膜純度高、致密性好、成膜均勻性好

  • 多樣化

    不同金屬、合金、氧化物混合濺射

  • 監控

    本地或遠程監控鍍膜過程

型號 HCMS-1212
真空室尺寸 Ф1200×H1200mm
制膜種類 多功能金屬膜、復合膜、透明導電膜、增返射膜、電磁屏蔽膜、裝飾膜等
電源類型 直流磁控電源、中頻磁控電源電源、高壓離子轟擊電源
靶類型 直流磁控靶、中頻孿生靶、平面靶、圓柱靶
真空室結構 立式雙開門、立式單開門
真空系統 機械泵+羅茨泵+擴散泵+維持泵(或選配:分子泵、深冷系統)
充氣系統 質量流量控制儀(1-4路)
極限真空 6×10-4pa(空載、凈室)
抽氣時間 空載大氣抽至5×10-3pa小于13分鐘
工件旋轉方式 6軸/8軸/9軸公自轉/變頻無級調速
控制方式 手動+半自動+全自動一體化/觸摸屏+PLC
備注 真空室尺寸可按客戶產品及特殊工藝要求訂做
型號 HCMS-1612
真空室尺寸 Ф1600×H1200mm
制膜種類 多功能金屬膜、復合膜、透明導電膜、增返射膜、電磁屏蔽膜、裝飾膜等
電源類型 直流磁控電源、中頻磁控電源電源、高壓離子轟擊電源
靶類型 直流磁控靶、中頻孿生靶、平面靶、圓柱靶
真空室結構 立式雙開門、立式單開門
真空系統 機械泵+羅茨泵+擴散泵+維持泵(或選配:分子泵、深冷系統)
充氣系統 質量流量控制儀(1-4路)
極限真空 6×10-4pa(空載、凈室)
抽氣時間 空載大氣抽至5×10-3pa小于13分鐘
工件旋轉方式 6軸/8軸/9軸公自轉/變頻無級調速
控制方式 手動+半自動+全自動一體化/觸摸屏+PLC
備注 真空室尺寸可按客戶產品及特殊工藝要求訂做
型號 HCMS-1912
真空室尺寸 Ф1900×H1200mm
制膜種類 多功能金屬膜、復合膜、透明導電膜、增返射膜、電磁屏蔽膜、裝飾膜等
電源類型 直流磁控電源、中頻磁控電源電源、高壓離子轟擊電源
靶類型 直流磁控靶、中頻孿生靶、平面靶、圓柱靶
真空室結構 立式雙開門、立式單開門
真空系統 機械泵+羅茨泵+擴散泵+維持泵(或選配:分子泵、深冷系統)
充氣系統 質量流量控制儀(1-4路)
極限真空 6×10-4pa(空載、凈室)
抽氣時間 空載大氣抽至5×10-3pa小于13分鐘
工件旋轉方式 6軸/8軸/9軸公自轉/變頻無級調速
控制方式 手動+半自動+全自動一體化/觸摸屏+PLC
備注 真空室尺寸可按客戶產品及特殊工藝要求訂做
型號 HCMS-2121
真空室尺寸 Ф2100×H2100mm
制膜種類 多功能金屬膜、復合膜、透明導電膜、增返射膜、電磁屏蔽膜、裝飾膜等
電源類型 直流磁控電源、中頻磁控電源電源、高壓離子轟擊電源
靶類型 直流磁控靶、中頻孿生靶、平面靶、圓柱靶
真空室結構 立式雙開門、立式單開門
真空系統 機械泵+羅茨泵+擴散泵+維持泵(或選配:分子泵、深冷系統)
充氣系統 質量流量控制儀(1-4路)
極限真空 6×10-4pa(空載、凈室)
抽氣時間 空載大氣抽至5×10-3pa小于13分鐘
工件旋轉方式 6軸/8軸/9軸公自轉/變頻無級調速
控制方式 手動+半自動+全自動一體化/觸摸屏+PLC
備注 真空室尺寸可按客戶產品及特殊工藝要求訂做
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電話:13316689188

郵箱:office@hcvac.com

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